El monocristal de silicio (Si) es un material químicamente inerte con alta dureza, insoluble en agua y un rango de transmisión de luz de 1,5 a 8 micrones. Las ventajas de los espejos de silicio son que tienen buena durabilidad, estabilidad térmica y un costo relativamente bajo. Los sustratos de silicio revestidos se utilizan comúnmente como espejos para láseres de CO2. Los espejos de silicio también se utilizan en aplicaciones comerciales, como espejos de escaneo livianos, manejo de obleas de semiconductores y sistemas de imágenes reflectantes.